北京商报讯（记者 马换换 李佳雪）11月5日，上交所官网显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO对外披露了第二轮审核问询函回复。

据了解，恒运昌是半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。公司科创板IPO于2025年6月13日获得受理，并于当年7月6日进入问询阶段。

本次冲击上市，恒运昌拟募集资金约15.5亿元，扣除发行费用后，拟全部用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。

在第二轮审核问询函中，恒运昌收入、单一客户依赖、收购百世达等问题遭到追问。